真空密封從密封圈的材料來(lái)分主要有橡膠、聚四氟乙烯、聚氨酯等合成材料組成的密封以及金屬密封。

　　橡膠、合成材料具有的高彈性、高耐磨性和適宜的機(jī)械強(qiáng)度等優(yōu)點(diǎn)，使其廣泛應(yīng)用于真空密封，但是因其具有較大的出氣率和滲透率，并且不能高溫烘烤、不耐輻射等特點(diǎn)，而受到應(yīng)用限制。

　　金屬密封則彌補(bǔ)了橡膠密封的以上缺點(diǎn)，因而廣泛應(yīng)用于超高真空環(huán)境。對(duì)于超高真空，一般要求漏率小于1×10-11Pa·m3/s，為了更好的密封配合，一般要求重慶法蘭密封面的粗糙度≤Ra0.8。由于金屬材料同樣具有一定的彈性以及延展性，所以常常作為各種真空以及壓力設(shè)備的密封。

　　在金屬密封圈受到外界壓力而發(fā)生彈性變形時(shí)，在彈性恢復(fù)力的作用下，密封圈具有恢復(fù)原始形狀的趨向，這種趨向填補(bǔ)了密封面的縫隙，從而起到密封的作用。

　　應(yīng)用金屬的彈性作為密封件的材料有：無(wú)氧銅、純鋁、金、銀等硬度相對(duì)較軟的金屬;某些金屬如金屬銦，因其具有很好的延展性，在受到外界壓力后可以向各個(gè)方向流動(dòng)，填補(bǔ)密封面縫隙，同樣可以起到密封作用。

　　無(wú)氧銅和純鋁價(jià)格相對(duì)便宜，常作為標(biāo)準(zhǔn)件密封圈使用。無(wú)氧銅密封圈在刀口重慶法蘭(CF)中使用最廣，并且已形成國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，具體可參考標(biāo)準(zhǔn)GB/T6071-2003《超高真空法蘭》。